Fe-Si-Al薄膜超声喷涂技术研究 李佳潞，蔡 军，杜英华，贾 萌，字张雄，潘 攀，陈 辑 （中国电子科技集团公司第十二研究所 微波电真空器件国家重点实验室，北京100015）

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摘要∶为抑制行波管振荡，本文研究了用超声喷涂技术制备衰减材料薄膜的方法。测试结果表明，超声喷涂法制备的衰 减材料薄膜与手工涂覆相比，驻波比降低了16.3??平均成膜厚度差减小了0.014 mm。因此采用超声喷涂技术重复性和稳定 性更好，浆料利用率高，薄膜衰减材料表面均匀且颗粒分散性良好，具有更小的驻波比和反射系数，可在折叠波导中实现批量 化生产。