X60-12旋涡型喷头:
旋涡型超声波喷头,是一种具有旋风圆锥状喷雾的超声波雾化喷头。其采用超声波雾化喷头技术,通过特殊的涡旋流道设计将载气变换成均匀的旋转气流,使超声雾化后的液雾呈旋风形式散射喷出,扩大了超声波喷头的喷涂面积的同时还可以对垂直或曲面等带有角度基材进行喷涂。
散射型超声波喷头典型的应用是半导体晶圆的光刻胶喷涂,将光刻胶喷涂在半导体晶圆上。由于散射型超声波喷头喷出的雾是旋转散射的,故此不仅可以均匀的在晶圆的平面上形成光刻胶薄膜,而且还可以在晶圆微型结构的侧壁及夹角处形成均匀包裹的光刻胶薄膜。除此之外,散射型超声波喷头还可应用于如薄膜太阳能电池喷涂、钙钛矿太阳能电池喷涂、AR增透减反射膜喷涂、隔热薄膜喷涂、超疏水涂层喷涂、PCB助焊剂喷涂等等。
参数特点:
·喷头材质:TC4钛合金
·频率:60KHZ
·功率:0-25W
·喷雾流量:0.01-20ml/min
·喷涂直径:30-60mm
·喷涂高度:40-120mm
·平均雾化颗粒径:22µm
·导流气压:0.005-0.12mpa
·超声波控制器:多核数字处理器
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